嚴年豪

製程工程師  •  力晶積成電子製造股份有限公司(力積電)

1.四年以上高溫爐管、離子植入、快速升溫製程經驗(Furnace, IMP, RTP)

熟悉八吋晶圓擴散SPC製程管控，利用要因分析圖根據人、機器、材料、環境、方法、量測去分析異常狀況

2.跨部門合作上線APC(advanced process control)自動計算及下載

確認PYRO、POLY、TOES、SIN參數調整的計算邏輯，降低50%調整參數的時間

3.量測薄膜機台的程式建立及優化

調整Oxide/Silicon Nitride/Oxide film(ONO) 量測光源、film layer，找到最佳設定，使Good of Fitness(GOF) 0.3~0.7 提升至0.95以上

4.建立RTP產品partial run補鍍條件巨集及資料庫

避免人為計算疏失，且紀錄異常便於製程優化與改善

九月 2020 - Present