1.新版CVD加熱器導入:由PL量儀確認舊版加熱器長晶會有受熱不均勻的狀況,導入新版加熱器改善Wd On Wafer Stdev的均勻性。
2.車用產品移轉:將產品導入廠區量產,磊晶CVD機台align執行產品移轉,與RD/PID/QE開工程變更的會議。過程使用QC七大手法以及CVD Growth rate分析、X-RAY/DPA等分析工具。
3.磊晶GaN結構改善:針對客戶對於終端產品需求,優化GaN結構改善產出電性或LED IPQC指標優化,如IPQC指標收斂度、產品亮度。
4.量測儀器:MSA儀器校正以及Inline SPC維護。與量儀設備工程師共同維護SPC Chart,量儀資料可靠性高。